2023-09-12
远程等离子体源(RPS)是什么?
Industry Encyclopaedia source:整合于网络,侵删 author:沃特塞恩微波源

远程等离子体源(RPS)是一种用于产生等离子体的装置,它通常被用于在真空环境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺。如在CVD等薄膜设备中,RPS与设备腔体连接,进行分子级的清洗。在晶圆制造过程中,即使微米级的灰尘也会造成晶体管污染,导致晶圆废片,因此RPS的清洁性能尤为重要。

Related Product
More products
028 - 85964177
minhong.wan@wattsine.com