2024-03-05
射频电源应用领域涉及哪些应用?
Industry Encyclopaedia source:整合于网络,侵删 author:沃特塞恩微波源

射频电源应用领域:射频电源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蚀、去胶、PVD、干法清洗等设备中,起到激发等离子体、选择刻蚀方向等作用。LED与太阳能光伏行业、科学研究、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域也有应用。

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